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圆台平面磨床加工半导体行业中的晶圆

随着全球AI的快速发展,全世界对半导体芯片的需求也快速增长。晶圆做为半导体的载体,如何磨削晶圆,对于生产半导体芯片的工厂至关重要。晶圆通常是由超高纯度的单晶硅圆柱体切割而成的薄圆片,常见的有8英寸和12英寸的规格,更大尺寸的晶圆意味着单次能生产出更多的芯片,从而提高加工效率,降低生产成本。

从硅原料到最终的半导体成品芯片,中间要经过上百道工序,我们目前生产的数控圆台平面磨床,主要作用是加工由晶棒切割成薄片的工件,通常是8英寸或者12英寸的晶圆薄片,让其表面变得更光滑,为晶圆下一道工序做准备。

近日墨西哥的一家工厂,正考虑建设一座12英寸半导体硅晶圆工厂,他们需要一台数控全自动平面磨床,可以加工从晶棒到晶圆的工件,磨削后使其粗糙度满足客户需求。在详细了解客户需求后,我们推荐了公司专研的半导体行业专用卧轴圆台平面磨床,该磨床适用于磨削环形零件、轴承、阀片、锯片、陶瓷、水晶、玻璃、石英、碳化硅等精密零件加工。

客户需要加工的12英寸晶圆

上海鞍提仕数控卧轴圆台平面磨床 MGGK7363

机器的主要参数如下:

主要参数 单位 MGGK7363
工作台直径 mm 630
电磁吸盘直径 mm 630
磨削工件最大尺寸(直径×高) mm 630×200
最大承重 Kg ≤500
工作台可倾斜角度 degree ±3
工作台转速 (无极调速) r/min 0.5-150
工作台拖板水平往复速度 m/min 0.1-2
工作台拖板水平往复最大移动量 mm 340
金刚石砂轮尺寸(外径×内径×高) mm 400×40×127
磨头主轴转速(变频调速) r/min 3000
磨头垂直最大移动量 mm  250
磨头垂直快速升降速度 mm/min 300
磨头主轴中心线至工作台面距离 mm 130~380
磨头垂直自动进给量  mm 0.001-0.02
电子手轮进给倍率 X1X10X100
磨头电机功率 KW 7.5
磨头快速升降电机功率 KW 1.3
工作台旋转电机功率 KW 3.7
工作台拖板水平往复电机功率 KW  1.3
冷动水泵电机功率   KW​ 0.125​
润滑电子油泵电机功率 KW 0.4
机床总功率 KW ≈ 14
机床外形尺寸(长X宽X高) mm 2350x1250x1950
机床重量(约) KG 3500/3900

如果你也有是半导体相关行业的工厂,有圆台平面磨床的需求,欢迎随时咨询上海鞍提仕。我们有专业的工程师能够为你提供专业的技术支持。

公司邮箱:contact@antsmachine.com

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